演講題目： 半導體銅導線製程演進及發展

主講人： 盧盈靜  部經理

服務單位:   TSMC 台積電 南科18A 廠 PVD

日期：113 年 11 月 14 日(星期四)

時間：下午 14：10~15：50

地點：機電大樓（工EN2028）

*請自行攜帶筆記稿(置於系網頁)，演講結束後當場繳交，課程助教(TA)彙整， 作為評分及出席依據。