所屬組別：自動控制組-精密加工研究室
標題：液動壓線拋光機
儀器介紹：
滾筒式的拋光系統，以應用在大尺寸素晶圓的拋光上。該系統利用浮式拋光的原理產生加工，並可利用彈液動壓潤滑理論預測其加工行為，理論上該拋光法可成為具有良好加工現性與高平整度表面加工能力的拋光法。 滾筒式拋光法的另一項特色為其加工行為較不敏感於刀具磨耗造成的影響，對於加工重現性的維持與刀具的壽命具有其優勢。